無塵烘箱 百級無塵烤箱

清潔烤箱，無塵烤箱原理
       無塵烤箱配備HEPA過濾器，以保持爐腔無顆粒。  HEPA過濾器（高效微粒捕獲）現在是電子和平板顯示器潔淨室組裝的主要過濾係統，或任何需要減少或去除亞(ya) 微米微粒的應用。 HEPA過濾器具有隨機定位的微玻璃纖維的深床，其中與(yu) 平均纖維直徑和自由路徑橫截麵的有效孔相比，總床深度（過濾器的厚度）非常大。

    通過HEPA過濾器的氣體(ti) 必須流過的通道不是直的，而是非常曲折的。隨著顆粒對纖維的影響並粘附在纖維上，通道變得更小並且過濾器的效率提高。無塵烤箱以及LCD行業(ye) 的特殊輸送爐中使用這些過濾器。為(wei) 了保護過濾器不會(hui) 在烤箱中過熱，實施了用於(yu) 過濾器的特殊保護係統。 HEPA過濾器在正常條件下保持其在烤箱中的效率一至數年。 HEPA不需要任何清潔或維護來保持這種效率。無塵烤箱用於(yu) 半導體(ti) 行業(ye) 。

無塵烤箱特點  

1、用於(yu) 烘烤非光敏聚酰亞(ya) 胺（PI）的清潔烤箱，在幹淨的環境中處理集成的HEPA過濾器。溫度高達350°C 溫度。 氧氣可以保持<20ppm。可編程控製器。內(nei) 部尺寸可自定義(yi) 。 

2、可以提供與(yu) PC的數據耦合，這允許長期數據存儲(chu) 以及統計過程控製SPC，配方管理和過程可視化。

3、 強製送風循環方式，雙風道循環結構，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控係統，從(cong) 而得到高精度溫度控製。

4、可實現智能化生產(chan) 要求。SECS / GEM是用於(yu) 設備到主機數據通信的半導體(ti) 設備接口協議。在自動化工廠中，接口可以啟動和停止設備處理，收集測量數據，更改變量並為(wei) 產(chan) 品選擇配方。 

無塵烤箱基本參數
1、 溫度範圍：RT-200/450℃;     
2、 溫度均勻度：±2℃;    
3、 溫度波動度：±0.5℃；        
4、 溫控精度：±0.1℃;
5、 潔淨度：100/10級的潔淨熱處理HEPA過濾器與(yu) 前出風水平層對流循環方式實現並保證箱內(nei) 的溫度分布的均勻性與(yu) 潔淨度。