半導體百級無塵烤箱

型號：	EVC150L
更新時間：	2025-01-08

Class 100百級潔淨無塵烘箱係列用於(yu) 半導體(ti) 製造中矽片、砷化镓、铌酸鋰、玻璃等材料塗膠前的預處理烘烤、塗膠後堅膜烘烤和顯影後的高溫烘烤；也適用於(yu) 電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產(chan) 及科研部門；也可用於(yu) 非揮發性及非易燃易爆物品的幹燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

谘詢訂購

產品詳細資料：

一、半導體(ti) 無塵烤箱設備用途:
半導體(ti) 無塵烤箱Class 100百級潔淨無塵烘箱係列用於(yu) 半導體(ti) 製造中矽片、砷化镓、铌酸鋰、玻璃等材料塗膠前的預處理烘烤、塗膠後堅膜烘烤和顯影後的高溫烘烤；也適用於(yu) 電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產(chan) 及科研部門；也可用於(yu) 非揮發性及非易燃易爆物品的幹燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

二、半導體(ti) 無塵烤箱產(chan) 品特點：
1、在普通環境下使用，能夠確保烘箱內(nei) 部等級達到Class 100級；
2、內(nei) 膽四周氬弧焊，耐高溫矽膠密封，SUS304#不鏽鋼加熱器，防機台本身所產(chan) 生微塵；
3、采平麵水平送風後經美國進口H.E.P.A Filter裝置往前 (特殊風道設計)方向送風，過濾效率99.99%，Class 100排氣口：３"φ(附自動啟閉風門)
4、箱內(nei) 空氣封閉強製自循環，經耐高溫空氣過濾器反複過濾，使幹燥箱工作室內(nei) 處於(yu) 無塵狀態。水平循環結構，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控係統，溫度控製精度。
5、配壓差計隨時了解過濾器工作狀態。

三、半導體(ti) 無塵烤箱潔淨度100級的潔淨熱處理：
HEPA高效過濾器與(yu) 前出風型水平層流循環方式實現並保證箱內(nei) 的溫度分布的均勻性與(yu) Class 100級潔淨度小限度控製風速距離。

三、技術參數：

設備型號		EVC 150L□	EVC 320L□	EVC640L□	EVC 270L2【雙層】
內(nei) 箱尺寸WDH mm		500×500×600	600×600×900	800×800×1000	700×700×500
外型尺寸WDH mm		以實物為(wei) 準(溫度不同外箱尺寸不同)
工作溫度範圍		A: 250℃ B: 300℃
潔淨度		Class 100級（可定製Class 1000級，Class 10000級）
性能	解析精度	0.1℃
	分布均勻度	±2.5℃%
材質	外部材質	SPCC鋼板粉體(ti) 烤漆處理
	內(nei) 部材質	SUS﹟304鏡麵不鏽鋼板
	隔熱材質	玻璃纖維棉/陶瓷纖維棉
	密封材料	矽橡膠
加熱方式		熱風循環加熱/自然對流加熱/熱輻射加熱
加熱係統		不鏽鋼高速加熱器
計時器		0.1S～9999H
溫控器		普通數顯溫控型/觸摸屏PLC程序控製器
其它配件		多層強化玻璃視窗（260℃以內(nei) ），隔層置物架（兩(liang) 片）
安全裝置		電路係統負載保護，風機過載保護，溫到計時時到斷加熱，故障警示燈
選配件		溫度記錄儀；②推車；③測試孔（Φ25mm）；④可選裝充氮功能（N²）
設備電源		AC 220V或380V 50HZ
備注：1、以上數據均在環境溫度（QT）25℃.工作室無負載條件下測得。 2、可依客戶要求製作，滿足客戶的要求。本技術信息，如有變動恕不另行通知

上一篇：EDS300電動振動台下一篇：ELD鋰電池幹燥房新能源幹燥間

半導體百級無塵烤箱

留言框

產品：

您的單位：

您的姓名：

聯係電話：

常用郵箱：

省份：

詳細地址：

補充說明：

驗證碼：