無塵烘烤箱

Class 100 Clean Ovens

一、設備用途:
      Class100 潔淨烘箱係列用於半導體製造中矽片、砷化镓、铌酸鋰、玻璃等材料塗膠前的預處理烘烤、塗膠後堅膜烘烤和顯影後的高溫烘烤；也適用於電子液晶顯示、LCD、TP、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門；也可用於非揮發性及非易燃易爆物品的幹燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

二、產品特點：
1.在普通環境下使用，能夠確保烘箱內部等級達到Class 100
2.全周氬焊，耐高溫矽膠破緊，SUS304#不鏽鋼電熱生產器，防機台本身所產生微塵；
3.采平麵水平由後向前送風後經美國進口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(特殊風道設計)方向送風，過濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動啟閉風門)
4.強製送風循環方式。雙風道循環結構，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控係統，得到*溫度控製精度。
 

三．無塵高溫試驗箱,潔淨烘箱,無塵烤箱,百級無塵烘箱,Class100 潔淨烘箱,百級無塵烤箱,100級潔淨烤箱產品技術參數：
 

1.主要技術指標：
   無塵等級：Class 100;                   溫度範圍： RT+20～+300℃；
   溫度均勻度：200℃±4℃;              溫度波動度：±0.5℃（空載）        
   溫控精度：±0.1℃;                        工作尺寸：W800×D600×H1300         
   電源：380v , 50Hz，15KW           網板：2塊（高度可調節)

潔淨度100級的潔淨熱處理
HEPA高效過濾器與(yu) 前出風型水平層流循環方式實現並保證箱內(nei) 的溫度分布的均勻性與(yu) 100級潔淨度。zui小限度控製風速距離。
M計裝可編程控製
1模式20步驟，最多可做10個(ge) 模式。溫度上升·下降斜率設定程序的重複次數在1-999次間設定。
簡單操作的標準計裝
標準配置定值運行模式以及自動啟動·自動停止等可設定動作的程序運行。標準配置溫度過升防止器。 

2、箱體結構：
   烘箱由箱體部分、電器控製櫃、電加熱及風道係統組裝而成，結構合理，外觀美觀大方；
   箱體材料：外箱采用SUS304 ，1.5mm之拉絲不鏽鋼，並經堿性蘇打水清潔，可防止微塵；
   內膽材料：采用優質SUS304，2.0mm厚之鏡麵不鏽鋼板，並經堿性蘇打水清潔，去油汙避免烘烤時產生 PARTICLE；
   中桶材料：采用優質SUS304，2.0mm厚之鏡麵不鏽鋼板，並經堿性蘇打水清潔，去油汙及氬焊密封加工(防汙染)。

3、溫控係統：
   采用日本“神港”溫度控製器，控製器LED數字顯示及設定、PID自 動演算、薄膜設定，精確度±0.3%FS。；
   訊號來源：采用PT100熱電阻±0.5%。
   輸出被控製組件：SSR無接點訊號輸出。

4、完善的安全保護措施：
漏電斷路器、     控製線路保險絲裝置、 超溫防止保護裝置、 電熱過電流保護裝置、
馬達過電流保護、 機台異常蜂鳴器警示   逆向防止器、 門麵安全開關

5、選購設備(需另外收費)：
   可程式溫控器        無紙記錄儀        三色指示燈          烘烤架

注:無塵等級和尺寸可根據要求定製。