初步了解無塵烘烤箱

　　Class100 潔淨烘箱係列用於半導體製造中矽片、砷化镓、铌酸鋰、玻璃等材料塗膠前的預處理烘烤、塗膠後堅膜烘烤和顯影後的高溫烘烤；也適用於電子液晶顯示、LCD、TP、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門；也可用於非揮發性及非易燃易爆物品的幹燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
 

　　產品特點：
 

　　1.在普通環境下使用，能夠確保烘箱內部等級達到Class 100
 

　　2.全周氬焊，耐高溫矽膠破緊，SUS304#不鏽鋼電熱生產器，防機台本身所產生微塵；
 

　　3.采平麵水平由後向前送風後經美國進口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(特殊風道設計)方向送風，過濾效率99.99%，Class 100,排氣口：3"φ(附自動啟閉風門)
 

　　4.強製送風循環方式。雙風道循環結構，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控係統，得到*溫度控製精度。
 

　　設備簡介：
 

　　1、箱體結構：
 

　　烘箱由箱體部分、電器控製櫃、電加熱及風道係統組裝而成，結構合理，外觀美觀大方；
 

　　箱體材料：外箱采用SUS304 ，1.5mm之拉絲不鏽鋼，並經堿性蘇打水清潔，可防止微塵；
 

　　內膽材料：采用優質SUS304，2.0mm厚之鏡麵不鏽鋼板，並經堿性蘇打水清潔，去油汙避免烘烤時產生 PARTICLE；
 

　　中桶材料：采用優質SUS304，2.0mm厚之鏡麵不鏽鋼板，並經堿性蘇打水清潔，去油汙及氬焊密封加工(防汙染)。
 

　　2、溫控係統：
 

　　采用日本“神港”溫度控製器，控製器LED數字顯示及設定、PID自 動演算、薄膜設定，準確度±0.3%FS。
 

　　訊號來源：采用PT100熱電阻±0.5%。
 

　　輸出被控製組件：SSR無接點訊號輸出。
 

　　3、完善的安全保護措施：
 

　　漏電斷路器、控製線路保險絲裝置、超溫防止保護裝置、電熱過電流保護裝置、馬達過電流保護、機台異常蜂鳴器警示 逆向防止器、門麵安全開關
 

　　4、選購設備：
 

　　可程式溫控器        無紙記錄儀        三色指示燈          烘烤架